招标详情 中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目第三十一批——湿法清洗机国际招标公告(1)所属地区：上海 发布日期：2020-10-19 上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2020-10-19在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。 1、招标条件 项目概况:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司计划为中芯绍兴特种晶圆工艺生产线购买一批设备 资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位 项目已具备招标条件的说明:具备了招标条件 2、招标内容 招标项目编号:0613-204522154312/08 招标项目名称:中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目第三十一批——湿法清洗机 项目实施地点:中国浙江省 招标产品列表(主要设备): 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 1 氧化层刻蚀机及等离子体深硅孔刻蚀机 2 氧化层刻蚀机1台：实现wafer表面氧化层刻蚀； 等离子体深硅孔刻蚀机1台：1.实现硅孔直径0.35um 深度40 um刻蚀 2.实现硅孔角度在89+-0.5度。 实现侧壁光滑，无损伤。 / 2 介质刻蚀机 1 实现wafer上Oxide刻蚀 / 3 干法去胶机 4 1.Strip Rate:56000+/-3000A/min 2.Strip Rate Uni : <8% 3.WPH>120P/H / 4 氧化刻蚀机 3 1.实现多晶硅刻蚀要求etch rate >1500A/min 2.主刻蚀比氧化层选择比大于150:1 3.Chamber 与chamber 差异小于5%。 / 5 氧化刻蚀机 3 1.实现多晶硅刻蚀要求etch rate >1500A/min 2.主刻蚀比氧化层选择比大于150:1 3.Chamber 与chamber 差异小于5%。 / 6 氮化铝和钼金属刻蚀机蚀刻机 1 使用范围 硅片直径200mm / 7 湿法清洗机 3 1.实现55纳米级别清洗 2．使用化学品对光阻进行去除以达到需要的要求 / 8 湿法清洗机 3 1.实现55纳米级别清洗 2．使用化学品对光阻进行去除以达到需要的要求 / 3、投标人资格要求 投标人应具备的资格或业绩:1）具有独立的法人资格，相应的经营范围。投标方应具有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。 2）投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验 。 是否接受联合体投标:不接受 未领购招标文件是否可以参加投标:不可以 4、招标文件的获取 招标文件领购开始时间:2020-10-19 招标文件领购结束时间:2020-10-26 是否在线售卖标书:否 获取招标文件方式:现场领购 招标文件领购地点：上海市长寿路285号恒达大厦16楼上海机电设备招标有限公司 招标文件售价:￥500/$80 5、投标文件的递交 投标截止时间（开标时间）:2020-11-09 09:30 投标文件送达地点:上海市长寿路285号恒达广场22楼 开标地点:上海市长寿路285号恒达广场22楼 6、投标人在投标前应在____（ https://____）或机电产品招标投标电子交易平台（ https://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。 7、联系方式 招标人:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司 地址:中国浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号 联系人:李晓玲 联系方式:0575-88060000-62232 招标代理机构:上海机电设备招标有限公司 地址:上海市长寿路285号 联系人:王鼎 应秋祺 联系方式:021-32557721 8、汇款方式: 招标代理机构开户银行(人民币): 招标代理机构开户银行(美元): 账号(人民币): 账号(美元): 关注微信公众号免费查看免费推送