竞价公告 (CB105902017000789)----深圳大学申购单类型竞价类  申购主题等离子清洗机 发布时间2017-06-14 22:25 经费科目纵向科研课题 使用币种人民币 是否含税是 申购备注设备名称品牌厂商型号是否标配数量售后服务规格配置等离子清洗机 深圳科晶 PCE-6 是 1 按行业标准提供服务 1、电源：AC220V 50/60Hz 2、输出功率：7.2W、10.2W、29.6W 3、真空泵功率：<500W 4、总功率：<600W 5、射频频率：3.0MHz，功率 3 档可手动调节 6、等离子腔体：高纯石英腔体，Φ160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有Φ45mm的观察窗 7、真空泵：240L/min，直连式双旋真空泵 8、极限真空度：50mtorr 9、通入气体：可通入多种气体来产生等离子，如 N2、Ar、H2、O2、Air 和混合气体等（根据材料性质选定）  报价网址：http://www.soeasycenter.com/